光刻材料中陰離子的測(cè)定
光刻工藝是半導(dǎo)體制造中最為重要的工藝步驟之一。主要作用是將掩膜板上的圖形復(fù)制到硅片上,為下一步進(jìn)行刻蝕或者離子注入工序做好準(zhǔn)備。光刻的成本約為整個(gè)硅片制造工藝的 1/3,耗費(fèi)時(shí)間約占整個(gè)硅片工藝的 40~60%。一般的光刻工藝要經(jīng)歷硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻膠、軟烘、對(duì)準(zhǔn)曝光、后烘、顯影、硬烘、檢測(cè)等工序。光刻膠是一種經(jīng)過嚴(yán)格設(shè)計(jì)的復(fù)雜、精密的配方產(chǎn)品,由樹脂、光引發(fā)劑、單體、添加劑等不同性質(zhì)的原料,通過不同的排列組合,經(jīng)過復(fù)雜、精密的加工工藝而制成。目前集成電路的集成水平已由原來的微米級(jí)水平進(jìn)入納米級(jí)水平,為了匹配集成電路的發(fā)展水平,制備超凈高純?cè)噭┑募兌纫灿?SEMI G1 逐漸提升到 SEMI G4 級(jí)水平,對(duì)雜質(zhì)的檢驗(yàn)?zāi)芰σ笠蚕鄳?yīng)提高。
(1)陰離子
分析柱:SH-G-1+SH-AC-11
流動(dòng)相:15 mM KOH(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:100 μL
前處理:稱取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中,加入 10 mL 去離子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷卻至室溫,提取液過 0.22 μm 一次性針頭過濾器后進(jìn)樣分析。
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PC 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PP 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
ABS 中陰離子譜圖
(2)陽離子
分析柱:SH-G-1+SH-CC-3L
流動(dòng)相:6 mM MSA(EG)
流速:1.0 mL/min
柱溫:35℃
抑制器:SHY-A-6
進(jìn)樣體積:100 μL
前處理:稱取 2 g 樣品于 50 mL 樣品管中,加入 10 mL 去離子水,于 60℃水浴 1 h,取出冷卻至室溫,提取液過 0.22 μm 一次性針頭過濾器后進(jìn)樣分析。
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PC 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
PP 中陰離子譜圖
色譜測(cè)量數(shù)據(jù)
ABS 中陰離子譜圖
Related Products
查看詳情
查看詳情
查看詳情
查看詳情
related news
在科學(xué)技術(shù)日新月異的今天,高效液相色譜系統(tǒng)(HPLC)的技術(shù)革新已成為分析化學(xué)領(lǐng)域的重要里程碑。這種技術(shù)的不斷進(jìn)步不僅極大地提高了分析的精度和效率,還推動(dòng)了分析化學(xué)邁向新的高度。
盛瀚CIC-D150型離子色譜儀定位于智能化,實(shí)現(xiàn)了手機(jī)APP遠(yuǎn)程操控、定時(shí)開機(jī)預(yù)熱,智能大屏實(shí)時(shí)顯示儀器參數(shù)和運(yùn)行狀態(tài),一鍵智能維護(hù)等功能,使用更加便捷大大提高了實(shí)驗(yàn)室生產(chǎn)力和用戶體驗(yàn)。
液相色譜儀根據(jù)固定相是液體或是固體,又分為液-液色譜(LLC)及液-固色譜(LSC)?,F(xiàn)代液相色譜儀由高壓輸液泵、進(jìn)樣系統(tǒng)、溫度控制系統(tǒng)、色譜柱、檢測(cè)器、信號(hào)記錄系統(tǒng)等部分組成。與經(jīng)典液相柱色譜裝置比較,具有高效、快速、靈敏等特點(diǎn)。作為一種高精度的檢測(cè)儀器,色譜檢測(cè)器在被污染后會(huì)出現(xiàn)數(shù)據(jù)誤差。盛瀚小編為您介紹如何判斷液相色譜儀是否被污染。
6月12日,國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“基礎(chǔ)科研條件與重大科學(xué)儀器設(shè)備研發(fā)”重點(diǎn)專項(xiàng)——“超高效液相色譜儀”項(xiàng)目啟動(dòng)暨實(shí)施方案論證會(huì)在青島順利召開。會(huì)議由工業(yè)和信息化部高新司、中國(guó)21世紀(jì)議程管理中心、青島市科學(xué)技術(shù)局主辦,青島盛瀚色譜技術(shù)有限公司(以下簡(jiǎn)稱盛瀚)承辦。
離子色譜儀分析系統(tǒng)采用了凝膠抑制方式,是搭載了自動(dòng)進(jìn)樣器的一體化高性能離子色譜儀分析系統(tǒng)。簡(jiǎn)單的操作系統(tǒng)與專用高分辨率色譜柱的*結(jié)合,可以高速,高靈敏度并且簡(jiǎn)便地測(cè)定陰離子和陽離子。此外,配備的專用系統(tǒng)控制及數(shù)據(jù)解析的離子色譜工作站